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德國MLase準分子激光器MLI 500 ARF

德國MLase準分子激光器MLI 500 ARF工作環(huán)境
ArF 準分子激光器通常被用于需要高能量、高分辨率和微米級別的精確度的應(yīng)用領(lǐng)域

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  • 更新時間:2024-05-16
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產(chǎn)品詳情
品牌Mlase

德國MLase準分子激光器MLI 500 ARF工作環(huán)境

MLase是紫外光醫(yī)療和工業(yè)產(chǎn)品供應(yīng)商。自2007成立以來,MLase一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)創(chuàng)新型高質(zhì)量激光和光系統(tǒng),這是高度專業(yè)化的專家團隊多年經(jīng)驗的結(jié)晶。MLase AG 為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,同時考慮到新的技術(shù)。MLase AG的質(zhì)量管理符合ISO 13485:2016標準。

 

"ARF" 在激光技術(shù)中通常是指氬氟化物激光器,屬于準分子激光器的一種。ArF 激光器使用氬氟化物(ArF)氣體作為激光介質(zhì),通常在紫外光區(qū)域產(chǎn)生激光。

ArF 激光器的工作波長通常在193納米附近,這個波長范圍對于許多應(yīng)用非常重要。例如,在半導體制造領(lǐng)域,ArF 激光器被廣泛應(yīng)用于光刻技術(shù),用于將圖形圖案投影到半導體芯片上,以便進行微影和制造。

設(shè)計 ArF 準分子激光器需要考慮到氬氟化物的化學特性以及紫外光的高能量特性。工作環(huán)境對于ArF激光器同樣也具有重要意義,通常需要保持在高度潔凈、低振動、低溫度變化和低濕度的條件下。

ArF 準分子激光器通常被用于需要高能量、高分辨率和微米級別的精確度的應(yīng)用領(lǐng)域,比如半導體制造、激光微加工、科學研究等。

 

Mlase MLI 500 ARF準分子激光器

參數(shù):ArF

波長(納米):193

最大。重復率 (Hz)500

穩(wěn)定的脈沖能量(mJ)6

穩(wěn)定的脈沖功率(W)3,0

能量穩(wěn)定性 (sigma, %)2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)6x3

光束發(fā)散(FWHMV x H mrad):2x1

脈沖持續(xù)時間(FWHM)(ns):5-10

 

型號示例:

Mlase準分子激光器MLI 500 ARF

Mlase準分子激光器MLI 500 KRF

Mlase準分子激光器MLI 200 KRF

Mlase準分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase準分子激光器MLI 200 ARF

Mlase準分子激光器MLI 1000 ARF

德國MLase準分子激光器MLI 500 ARF工作環(huán)境


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