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德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 ARF

德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米
微加工、醫(yī)學(xué)、科學(xué)研究和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-16
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產(chǎn)品詳情
品牌Mlase

德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米

MLase是紫外光醫(yī)療和工業(yè)產(chǎn)品供應(yīng)商。自2007成立以來,MLase一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)創(chuàng)新型高質(zhì)量激光和光系統(tǒng),這是高度專業(yè)化的專家團(tuán)隊(duì)多年經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。MLase AG 為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,同時(shí)考慮到新的技術(shù)。MLase AG的質(zhì)量管理符合ISO 13485:2016標(biāo)準(zhǔn)。

 

ARF KRF 是兩種常見的準(zhǔn)分子激光器類型,分別代表氬氟化物激光器(ArF 激光器)和氪氟化物激光器(KrF 激光器)。它們都屬于氣體激光器的一種,使用稀有氣體和氟化物混合物作為激光介質(zhì),并且都通常在紫外光區(qū)域產(chǎn)生激光。

 

ARF 激光器(氬氟化物激光器):

   - 波長:約193納米

   - 工作介質(zhì):氬氟化物混合氣體

   - 應(yīng)用:主要應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻技術(shù),用于制造集成電路芯片。

 

KRF 激光器(氪氟化物激光器):

   - 波長:約248納米

   - 工作介質(zhì):氪氟化物混合氣體

   - 應(yīng)用:廣泛用于激光微加工、醫(yī)療、科學(xué)研究等領(lǐng)域,也用于半導(dǎo)體光刻。

 

這兩種類型的激光器在波長和應(yīng)用領(lǐng)域上略有不同,但它們都具有高能量密度、精確的波長控制和窄脈沖寬度等特點(diǎn)。這使它們?cè)谥T如微加工、醫(yī)學(xué)、科學(xué)研究和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。

 

Mlase MLI 1000 ARF準(zhǔn)分子激光器

參數(shù):ArF

波長(納米):193

最大。重復(fù)率 (Hz)1000

穩(wěn)定的脈沖能量(mJ)6

穩(wěn)定的脈沖功率(W)6,0

能量穩(wěn)定性 (sigma, %)2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)6x3

光束發(fā)散(FWHM,V x H mrad):2x1

脈沖持續(xù)時(shí)間(FWHM)(ns):5-10

 

型號(hào)示例:

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 500 ARF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 500 KRF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 200 KRF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 200 ARF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 ARF

德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米


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